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布魯克Dimension Edge PSS原子力顯微鏡

簡要描述:布魯克Dimension Edge PSS原子力顯微鏡具有AutoMET™計量軟件的布魯克Dimension Edge™PSS原子力顯微鏡是LED基板和外延制造商的理想納米計量和納米檢查系統。作為Dimension Edge AFM平臺的擴展,Edge PSS融合了Dimension AFM系統所享有的令人難以置信的價值和分辨率,同時還提供了產品

  • 產品型號:Edge PSS
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2024-01-26
  • 訪  問  量:1255

詳細介紹

品牌其他品牌產地類別進口
應用領域環保,化工,生物產業,地礦,電子

布魯克Dimension Edge PSS原子力顯微鏡

的PSS計量功能

帶有AutoMET的Dimension Edge PSS提供了納米分辨率,可用于分析PSS基板的每個關鍵參數,同時自動收集整個晶片和晶片之間的信息。

布魯克的PSS分析包可以同時提供以下數據:

  • 高度,寬度和間距
  • 側壁角度和特征輪廓
  • 新:不對稱識別和測量
  • 新:污染識別
  • 新:轉彎識別和轉彎角度
  • 新:平頂識別

AutoMET軟件分析具有新的測量功能

New_AutoMET_Software_Analysis_features.png

我們在AutoMET軟件中添加了新的測量功能,以增強PSS結構的分析。

Dimension Edge PSS具有亞微米間距分辨率,可滿足LED制造路線圖的需求。其小于0.2nm的本底噪聲可提供裸露的基板和Epi粗糙度測量,并且可容納2至6英寸的晶片,從而提供了樣品靈活性。

Dimension_Edge_PSS_closeup_300x377.png

帶有9個晶片卡盤的Dimension Edge PSS AutoMET軟件和系統。

布魯克Dimension Edge PSS原子力顯微鏡

 

PSS的3D計量和過程控制

具有AFM 3D分辨率的AutoMET自動化計量和生產功能

具有AutoMET™計量軟件的布魯克Dimension Edge™PSS原子力顯微鏡是LED基板和外延制造商的理想納米計量和納米檢查系統。作為Dimension Edge AFM平臺的擴展,Edge PSS融合了Dimension AFM系統所享有的令人難以置信的價值和分辨率,同時還提供了產品

尺寸Edge PSS Automet晶圓圖像

平頂圖案藍寶石襯底的3D AFM圖像。

基于基體測量的解決方案。該系統集成了布魯克專有的AutoMET控制和分析軟件,該軟件專門為滿足圖案化藍寶石襯底(PSS)供應商的需求而設計,可提供價值不菲的原子力顯微鏡*的自動化水平和易用性。

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