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簡要描述：TruPlasmaDC4010 (G2)脈沖等離子體電源TruPlasma DC 4000 (G2) 系列專為困難材料的直流反應(yīng)濺射而開發(fā)。以脈沖式直流電工作的該款發(fā)生器經(jīng)受住尤為嚴(yán)苛的 PVD （物理氣相沉積）和 PECVD （等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積）工藝的考驗(yàn)，這些工藝對涂層質(zhì)量與生產(chǎn)效率均有*要求。緊湊型直流電源可在脈沖與偏壓模式下使用——亦即兩種設(shè)備集于同一外殼！
產(chǎn)品型號：廠商性質(zhì)：代理商更新時間：2024-01-28訪 問 量：2381產(chǎn)品分類
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| 品牌 | 其他品牌 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子,交通,汽車,電氣 |
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TruPlasma DC 4000 (G2) 系列專為困難材料的直流反應(yīng)濺射而開發(fā)。以脈沖式直流電工作的該款發(fā)生器經(jīng)受住尤為嚴(yán)苛的 PVD （物理氣相沉積）和 PECVD （等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積）工藝的考驗(yàn)，這些工藝對涂層質(zhì)量與生產(chǎn)效率均有*要求。緊湊型直流電源可在脈沖與偏壓模式下使用——亦即兩種設(shè)備集于同一外殼！
出色的涂層質(zhì)量和生產(chǎn)效率
數(shù)字化信號處理確保工藝穩(wěn)定并將受電弧限制的時間損失最小化。
即便工藝條件嚴(yán)苛，也能實(shí)現(xiàn)最佳結(jié)果
快速電弧處理與直流脈沖技術(shù)相結(jié)合，將基板損壞最小化。
輕松適配工藝
得益于寬泛的頻率范圍和可調(diào)反向電壓。
緊湊又堅固的結(jié)構(gòu)
集成水冷裝置節(jié)省空間，減少維護(hù)工作。
快速電弧處理與直流脈沖技術(shù)相結(jié)合使微滴率降低且表面缺陷減少。受電弧限制的工藝中斷降到最少，沉積速率顯著提高。
可在寬泛的范圍內(nèi)調(diào)整脈沖頻率，直流發(fā)生器還配備偏壓模式。借此可將同一臺設(shè)備用于眾多應(yīng)用。精心設(shè)計的監(jiān)控工具支持您優(yōu)化工藝。
不同選項(xiàng)讓脈沖式直流電源以最佳方式適配您的應(yīng)用。
多臺 TruPlasma DC 4000 (G2) 系列直流電源可同步運(yùn)行。對于指向不同目標(biāo)的多臺電源，該模式能夠?qū)崿F(xiàn)電弧的同步識別。脈沖模式也可進(jìn)行同步。
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