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自動光譜橢偏儀SENDURO

簡要描述:自動光譜橢偏儀SENDUROSENDURO® 可測量透明和反射基片上單層薄膜和層疊膜的折射率和厚度。SENDURO® 自動掃描則實現(xiàn)了較高的樣品速度,化安裝工作量和低的維護成本。該光譜橢偏儀的自動掃描具有預(yù)定義或用戶定義的模式、允許廣泛的統(tǒng)計特性和數(shù)據(jù)圖形顯示。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時間:2024-01-28
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自動光譜橢偏儀SENDURO

 自動對準(zhǔn)

光譜橢偏儀SENDURO® 所有的全自動光譜橢偏免除了用戶根據(jù)高度和傾斜度手動地對準(zhǔn)樣品的麻煩,這對于高精度和可重復(fù)的光譜橢偏是必要的。自動對準(zhǔn)傳感器大大減少了操作誤差,適用于透明和反射樣品,即使在彎曲的樣品上也可實現(xiàn)自動掃描。

操作簡單

配方模式非常適合于生產(chǎn),工藝監(jiān)控以及研發(fā)的常規(guī)應(yīng)用。該光譜橢偏儀帶有隨機可的配方數(shù)據(jù)庫,可以根據(jù)您的具體需要對其進行修改。

步進掃描分析器

步進掃描分析器SSA是SENTECH光譜橢偏技術(shù)的一個*特征。分析樣品的總時間只需幾秒鐘。

自動光譜橢偏儀SENDURO

SENDURO® 可測量透明和反射基片上單層薄膜和層疊膜的折射率和厚度。SENDURO® 自動掃描則實現(xiàn)了較高的樣品速度,化安裝工作量和低的維護成本。該光譜橢偏儀的自動掃描具有預(yù)定義或用戶定義的模式、允許廣泛的統(tǒng)計特性和數(shù)據(jù)圖形顯示。

SENDURO® 是SENTECH自動化,占地面積小,設(shè)計緊湊的橢偏儀的代表。測量臺包括橢偏儀光學(xué)部件、自動傾斜和高度傳感器、電動樣品臺和控制器電子設(shè)備,它們?nèi)烤o湊的組合。為了達到更高產(chǎn)量的要求,我們的光譜橢偏儀也提供了片盒站裝載尺寸到300 mm的大晶片。

SENDURO® 以其高樣品測量速度,易于操作和自動對準(zhǔn)在工業(yè)應(yīng)用中表現(xiàn)出色。應(yīng)用范圍從半導(dǎo)體上的介質(zhì)膜到玻璃上的多層光學(xué)涂層。

SENDURO® 優(yōu)異的光譜橢偏軟件具有配方模式和工程模式。配方模式致力于重復(fù)應(yīng)用程序的簡單執(zhí)行。密碼控制的用戶登錄允許不同級別的用戶登錄。在交互模式下,橢偏測量通過交互式的,指導(dǎo)性的圖形用戶界面得到增強。此外,可以使用材料數(shù)據(jù)庫和散射模型修改已經(jīng)存在的配方或建立新的配方。

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